Àkópọ̀ Ìṣẹ̀dá Semikonductor

Ilé iṣẹ́ semikondokito náà ní àwọn ìlànà tó díjú tó nílò àwọn ohun èlò tó mọ́ tónítóní àti ìṣàkóso tó péye lórí àwọn ohun tó lè fa ìbàjẹ́.

Lilo awọn àlẹ̀mọ́ tó ga jùlọ ṣe pàtàkì nínú mímú kí iṣẹ́ ṣíṣe nǹkan dúró ṣinṣin.

Àwọn àlẹ̀mọ́ ṣe ipa pàtàkì nínú yíyọ àwọn èròjà, àwọn ohun ìdọ̀tí onígbà-ẹ̀dá, àti àwọn ohun ìdọ̀tí mìíràn tí ó lè ní ipa lórí dídára ọjà ìkẹyìn.

Awọn Igbesẹ Ṣiṣẹda Semiconductor

Iṣẹ́ àgbékalẹ̀ semiconductor ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìgbésẹ̀, títí kan ètò ìṣiṣẹ́ kẹ́míkà (CMP) láti mú kí ojú wafer rọrùn, fọ́tòlithography, àti ìfipamọ́ fíìmù tín-ín-rín.

Igbesẹ kọọkan nilo awọn ojutu ifọṣọ pàtó lati rii daju pe a yọ awọn idoti kuro ati itọju awọn ipo mimọ giga. Eyi pẹlu sisẹ kemikali atiàlẹ̀mọ́ gaasiláti mú àwọn ohun ìdọ̀tí kúrò dáadáa.

Lílo àwọn àlẹ̀mọ́ nínú àwọn ìgbésẹ̀ wọ̀nyí ń ran lọ́wọ́ láti dènà àbùkù àti láti rí i dájú pé àwọn semiconductors tó ní agbára gíga ń ṣe é.

Awọn Ojutu Asọ fun Iṣelọpọ Semiconductor

Àwọn ojútùú ìfọ́mọ́ fún iṣẹ́ àgbékalẹ̀ semiconductor ní àwọn àlẹ̀mọ́ ojú-ọ̀nà (POU), àwọn àlẹ̀mọ́ awo, àti àwọn ilé àlẹ̀mọ́, èyí tí ó ṣe pàtàkì fún yíyọ àwọn ẹ̀gbin kúrò àti rírí i dájú pé wọ́n ṣiṣẹ́ dáadáa. Àwọn ojútùú wọ̀nyí ni a ṣe láti pèsè ìfọ́mọ́ tó ga, ìfàsẹ́yìn ìfúnpá kékeré, àti ìgbésí ayé pípẹ́. A ń lò wọ́n láti mú àwọn èròjà, àwọn ẹ̀gbin onígbàlódé, àti àwọn ẹ̀gbin mìíràn kúrò nínú omi ìṣiṣẹ́, àwọn gáàsì, àti àwọn kẹ́míkà. Omi tó mọ́ gan-an ṣe pàtàkì nínú mímú àwọn ipò mímọ́ tó ga, pàápàá jùlọ nínú fífọ àwọn èròjà láti inú àwọn wáfárì àti fífọ àwọn kẹ́míkà iṣẹ́ tó wọ́pọ̀.

Àṣàlẹ̀ Ìṣiṣẹ́ Gíga Nínú Ṣíṣe Semiconductor

Iṣẹ́ àlẹ̀mọ́ ṣe pàtàkì nínú iṣẹ́ àgbékalẹ̀ semiconductor láti rí i dájú pé àwọn èròjà tí ó ní èérí kúrò àti láti tọ́jú àwọn ipò tí kò ní èérí, tí ó ní ìmọ́tótó gíga.

Àwọn àlẹ̀mọ́ tí wọ́n ní ìpamọ́ pàtákì gíga, ìtẹ̀síwájú, àti mímọ́ ni a lò láti pèsè ààbò tó ga jùlọ fún àwọn ìlànà ìṣelọ́pọ́ semiconductor.

A ṣe àwọn àlẹ̀mọ́ yìí láti fúnni ní ìṣẹ́ tó gùn jù àti láti dín àìní fún àwọn àyípadà nígbàkúgbà kù.

Àwọn Irú Àlẹ̀mọ́ Semiconductor

Àwọn àlẹ̀mọ́ semikondaktoraṣe pataki ninu ilana iṣelọpọ semiconductor, bi wọn ṣe ṣe iranlọwọ lati ṣetọju itọju naamímọ́ àwọn gáàsì, omi, ati awọn ohun elo miiran ti a lo ninu iṣelọpọ. Wọn ṣe idiwọ awọn idoti lati da awọn ohun elo ati awọn ilana ti o ni imọlara ninu iṣelọpọ semiconductor duro. Eyi ni diẹ ninu awọn iru awọn àlẹmọ semiconductor ti a maa n lo nigbagbogbo ninu ile-iṣẹ naa:

1. Àwọn Àlẹ̀mọ́ Irin Tí A Fi Sintered

A ṣe àwọn àlẹ̀mọ́ wọ̀nyí láti inú àwọn ohun èlò bí irin alagbara, wọ́n sì ní àwọn ihò díẹ̀ tí a ṣẹ̀dá láti ọwọ́ àwọn àlẹ̀mọ́ wọ̀nyí.àwọn lulú irin tí a fi ń yọ́Wọ́n ń lò wọ́n láti yọ àwọn èròjà líle kúrò nínú gáàsì tàbí omi, èyí tí ó ń mú kí àyíká mímọ́ tónítóní wà fún ṣíṣe semiconductor.

Awọn ohun elo:A n lo fun sisẹ gaasi ti o ni mimọ gaasi, gẹgẹbi nitrogen tabi argon, ati ninu awọn eto fifẹ ti o ni agbara pupọ.

2. Àwọn Àlẹ̀mọ́ PTFE (Polytetrafluoroethylene)

Àwọn àlẹ̀mọ́ PTFE jẹ́ aláìlera sí àwọn kẹ́míkà, wọ́n sì lè kojú àwọn ohun ìjà líle. Wọ́n sábà máa ń lò wọ́n nínú semiconductorile-iṣẹ fun sisẹàwọn gáàsì àti omi tí ń bàjẹ́.

Awọn ohun elo:A maa n lo o nigbagbogbo ninu fifi epo sinu erogba kemikali (CVD) ati ilana fifi epo sinu etching.

3. Àwọn Àlẹ̀mọ́ Seramiki

A sábà máa ń lo àwọn àlẹ̀mọ́ seramiki níbi tí àwọn igbóná gíga bá wà.iho-afẹfẹìṣètò àwọn àlẹ̀mọ́ seramiki gba ààyè láti ṣe àlẹ̀mọ́ tó dáa láìsí ìbàjẹ́ ìwà mímọ́ àwọn ohun èlò tí a ń ṣẹ́ àlẹ̀mọ́.

Awọn ohun elo:A lo fun awọn ilana iwọn otutu giga, gẹgẹbi ninu etching ion reactive (RIE) tabi etching plasma.

4. Àwọn àlẹ̀mọ́ HEPA (Afẹ́fẹ́ Pàtàkì Gíga)

A ṣe àwọn àlẹ̀mọ́ yìí láti mú àwọn èròjà kéékèèké, tí ó sábà máa ń dín sí 0.3àwọn máíkírọ́nìNínú àwọn yàrá ìwẹ̀nùmọ́ semiconductor, àwọn àlẹ̀mọ́ HEPA ṣe pàtàkì fún ṣíṣe àtúnṣe àyíká tí ó mọ́ tónítóní gidigidi.

Awọn ohun elo:A n lo o ni awọn yara mimọ ati gẹgẹ bi apakan ti awọn eto HVAC ninu awọn ohun elo semiconductor.

5. Àwọn Àlẹ̀mọ́ Erogba Tí A Ti Mu Ṣiṣẹ́

A lo àwọn àlẹ̀mọ́ erogba tí a ti mú ṣiṣẹ́ láti fa àwọn gáàsì àti èéfín mọ́ra, títí kan àwọn èròjà onígbà-pípa tí ó lè yípadà (VOCs) àti àwọn èròjà míràn tí ó lè bàjẹ́.

Awọn ohun elo:A maa n ri i ninu awon eto eefin tabi ninu awon ilana nibiti a gbọdọ fọ afẹfẹ kuro ninu awọn eefin kemikali.

6. Àwọn Àlẹ̀mọ́ Pípé

A ṣe àyẹ̀wò àwọn àlẹ̀mọ́ wọ̀nyí láti dẹ gbogbo àwọn èròjà tí ó ga ju ìwọ̀n kan lọ pẹ̀lú agbára gíga. Wọ́n sábà máa ń lò wọ́n fún àwọn ìpele ìyọ́sílẹ̀ ìkẹyìn, láti rí i dájú pé kò sí àwọn èròjà tí ó lè bàjẹ́.

Awọn ohun elo:A lo ninu sisẹ awọn olomi ati awọn gaasi ti o ni ultrapure ni iṣelọpọ semiconductor ipele ikẹhin.

7. Àwọn Àlẹ̀mọ́ Electrostatic

Àwọn àlẹ̀mọ́ wọ̀nyí ń lo agbára ìdènà electrostatic láti mú àwọn èròjà tí ó kéré jù fún ìfọ́mọ́ ẹ̀rọ nìkan. Wọ́n ń ṣiṣẹ́ dáadáa ní yíyọ eruku díẹ̀ àti àwọn èéfín kan kúrò.

Awọn ohun elo:A lo o ni awọn agbegbe nibiti awọn patikulu kekere tabi awọn aerosols nilo lati mu daradara.

8. Àwọn Àlẹ̀mọ́ Gáàsì-Pàse

A máa ń lo àwọn àlẹ̀mọ́ wọ̀nyí fún ìfọ́ epo gaasi, ní àwọn àyíká tí ìwẹ̀nùmọ́ ṣe pàtàkì jùlọ. Wọ́n lè mú àwọn ohun èlò ìfọ́ epo, VOC, àti àwọn ohun ìbàjẹ́ mìíràn kúrò nínú àwọn gáàsì tí a ń lò nínú ṣíṣe semiconductor.

Awọn ohun elo:A n lo ninu awọn eto ifijiṣẹ gaasi fun awọn ilana bii photolithography tabi idabobo oru kemikali.

Yíyan àlẹ̀mọ́ tó tọ́ sinmi lórí irú ohun èlò tí wọ́n ń yọ́, àwọn ohun tó lè fa ìbàjẹ́, àti bí wọ́n ṣe ń ṣiṣẹ́ (iwọ̀n otútù, ìfúnpá, àti ìbáramu kẹ́míkà).

9. Àwọn Ohun Èlò Ṣíṣe Àṣàrò Pàtàkì

Ile-iṣẹ semiconductor n dagbasoke nigbagbogbo, atiawọn imọ-ẹrọ àlẹmọń tẹ̀síwájú láti bá àwọn ìbéèrè ti iṣẹ́-ọnà ìran tó ń bọ̀ mu. Àwọn ìmọ̀-ẹ̀rọ àlẹ̀mọ́ tó ń jáde, bíi nanofiltration àti àwọn àlẹ̀mọ́ membrane tó ti ní ìlọsíwájú, ń fúnni ní ìṣiṣẹ́ tó dára àti ìmúṣẹ tó dára nínú yíyọ àwọn ohun ìbàjẹ́ kúrò. Àwọn ojútùú tuntun wọ̀nyí ń jẹ́ kí iṣẹ́-ṣíṣe àwọn kẹ́míkà àti gáàsì tó ní ìmọ́tótó gíga, èyí tó ṣe pàtàkì fún iṣẹ́-ṣíṣe semiconductor. Nípa fífi àwọn ìmọ̀-ẹ̀rọ àlẹ̀mọ́ tó ti ní ìlọsíwájú wọ̀nyí sílò, àwọn olùpèsè lè ṣe àṣeyọrí àwọn èso tó ga, dín àwọn àbùkù kù, àti ìṣiṣẹ́ tó pọ̀ sí i. Bí ilé-iṣẹ́ náà ṣe ń tẹ̀síwájú, ìdàgbàsókè àwọn ìmọ̀-ẹ̀rọ àlẹ̀mọ́ tuntun yóò kó ipa pàtàkì nínú ṣíṣe àwọn semiconductor kékeré, kíákíá, àti alágbára sí i.

Ipa Ayika ti Awọn Eto Ajọ

Àwọn ètò ìfọ́mọ́ tí a lò nínú iṣẹ́-ṣíṣe semiconductor lè ní ipa pàtàkì lórí àyíká, pàápàá jùlọ ní ti lílo agbára àti ìṣẹ̀dá ìdọ̀tí. Lílo àwọn ojútùú ìfọ́mọ́ tí ó ní agbára gíga lè ran lọ́wọ́ láti dín agbára kù kí ó sì dín ìṣẹ̀dá ìdọ̀tí kù. Yíyan àwọn ilé àlẹ̀mọ́ tí ó ní ààbò fún àyíká, bí irú èyí tí a fi polyethylene oníwọ̀n gíga ṣe, tún lè ran lọ́wọ́ láti dín ipa àyíká kù nínú àwọn ètò ìfọ́mọ́. Ní àfikún, lílo omi ultrapure nínú iṣẹ́-ṣíṣe semiconductor lè ran lọ́wọ́ láti dín iye omi ìdọ̀tí tí a ń rí jáde kù. Nípa lílo àwọn ètò ìfọ́mọ́ tí ó ní ààbò fún àyíká, àwọn olùṣe semiconductor lè dín ipa àyíká wọn kù kí wọ́n sì ṣe àfikún sí ọjọ́ iwájú tí ó túbọ̀ wà pẹ́ títí.

Ìṣàyẹ̀wò Iye Owó àti Àǹfààní ti Àwọn Ẹ̀rọ Àlẹ̀mọ́

Ìṣàyẹ̀wò iye owó àti àǹfààní àwọn ètò ìfọṣọ nínú iṣẹ́ àgbékalẹ̀ semiconductor ṣe pàtàkì láti rí i dájú pé àwọn àǹfààní ìfọṣọ pọ̀ ju iye owó lọ. Àwọn ojútùú ìfọṣọ tó lágbára lè yọrí sí ìfowópamọ́ iye owó tó pọ̀ nípa dídín àìní fún ìrọ́pò àlẹ̀mọ́ nígbàkúgbà àti dín àkókò ìsinmi kù. Yíyan àwọn ilé àlẹ̀mọ́ pẹ̀lú ìgbésí ayé pípẹ́ tún lè ran lọ́wọ́ láti dín iye owó ìtọ́jú kù kí ó sì mú kí ètò ìfọṣọ pẹ́ sí i. Ní àfikún, lílo àwọn ètò ìfọṣọ lè ran lọ́wọ́ láti dín iye owó ìfọṣọ kù kí ó sì dín ipa àyíká tí iṣẹ́ àlẹ̀mọ́ semiconductor ní lórí rẹ̀ kù. Nípa ṣíṣe ìṣàyẹ̀wò iye owó àti àǹfààní kíkún, àwọn olùṣe semiconductor lè rí i dájú pé àwọn ètò ìfọṣọ wọn jẹ́ èyí tó dára jùlọ fún ìṣiṣẹ́ tó ga jùlọ àti ìnáwó tó munadoko jùlọ.

Àwọn Àlẹ̀mọ́ Ilé àti Àwọn Àlẹ̀mọ́ Iṣẹ́ Gbogbogbò

Àwọn ètò ìfọ́mọ́ ni a ṣe láti pèsè ọ̀nà tó dájú àti tó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé láti fi àwọn àlẹ̀mọ́ sí àti láti ṣiṣẹ́ nínú àwọn iṣẹ́ ìṣe semiconductor, èyí tí ó ń rí i dájú pé wọ́n dín àwọn àlẹ̀mọ́ kù dáadáa. Àwọn wafer silicon ń kó ipa pàtàkì nínú iṣẹ́ yìí, nítorí wọ́n ṣe pàtàkì fún ṣíṣe semiconductor àti àwọn ìfihàn, èyí tí ó nílò ìdínkù àléébù tó munadoko àti ìdánilójú dídára. Àwọn àlẹ̀mọ́ iṣẹ́ gbogbogbò ni a ṣe láti pèsè ojútùú tó munadoko fún àwọn ohun èlò ìfọ́mọ́ tó rọrùn sí èyí tó díjú. A ń lò wọ́n láti pèsè ìlànà ìfọ́mọ́ tó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé láìsí ìfọ́mọ́.

Imudarasi Lilo Iṣẹ-ṣiṣe Semiconductor

Lílo àwọn àlẹ̀mọ́ àti àwọn ojútùú ìfọ́mọ́ tó ga jùlọ lè ran lọ́wọ́ láti mú kí iṣẹ́ ìṣẹ̀dá semiconductor sunwọ̀n síi. Lílo ìmọ̀ ẹ̀rọ ìfọ́mọ́ tó ga jùlọ àti ìṣàkóso àwọn ohun tí kò ní èròjà lè mú kí iṣẹ́ náà sunwọ̀n síi. Àwọn ojútùú ìfọ́mọ́ yìí ṣe pàtàkì fún onírúurú ohun èlò, títí kan àwọn àyíká tí a ti so pọ̀, láti mú àwọn àbájáde tó dára jùlọ àti ìfowópamọ́ owó jáde nínú iṣẹ́ náà.

Nípa yíyọ àwọn ohun ìdọ̀tí kúrò àti mímú àwọn ipò mímọ́ tó ga, àwọn àlẹ̀mọ́ lè ṣe ìrànlọ́wọ́ láti dín àwọn àbùkù kù àti láti mú kí àwọn èso wọn sunwọ̀n sí i.

Lílo àwọn àlẹ̀mọ́ tún lè dín àìní fún àwọn àyípadà nígbàkúgbà kù àti dín àkókò ìsinmi kù.