Aṣọ Ìmọ́tótó Gíga fún Ṣíṣe Ẹ̀rọ Semiconductor Tó Mọ́
Àpèjúwe
Àlẹ̀mọ́ Gáàsì Tó Ń Ṣíṣẹ́ Gíga – A ṣe é ní pàtó fún ìfọ́lẹ̀ gáàsì tó mọ́ gan-an nínú iṣẹ́ àgbékalẹ̀ semiconductor. A ṣe é ní ọ̀nà tó péye láti inú irin alagbara 316L, ó ní onírúurú ọ̀wọ̀n tàbí àkójọpọ̀ àwọn ohun èlò díìsìkì láti rí i dájú pé ó ní ìdènà tó kéré ní ìwọ̀n ìṣàn gíga, pẹ̀lú ìpéye ìfọ́lẹ̀ tó dé 0.003μm láti bá àwọn ohun èlò mímọ́ tó ga jùlọ mu. Ìṣẹ̀dá irin gbogbo náà mú kí ó jẹ́ ojútùú ìfọ́lẹ̀ tó dára fún àwọn àyíká tó ń yípo iwọ̀n otútù gíga.
Ẹya Ọja
▶Gbogbo ìrísí Irin Alagbara 316L— Ó ń rí i dájú pé ó le koko àti pé ó ń dènà ìbàjẹ́.
▶Oṣuwọn sisan giga, resistance kekere— Iṣapeye fun sisan giga pẹlu pipadanu titẹ kekere.
▶Lilo Ìdádúró Patikulu Gíga Jùlọ— O tayọ fun mimu awọn ipo mimọ-pupọ.
▶Ó ń kojú àwọn iwọn otutu gíga, ìfúnpá, àti ìbàjẹ́— O dara fun awọn agbegbe ti o nira.
▶Ni ibamu pẹlu awọn Gas ilana oriṣiriṣi— O wa fun ọpọlọpọ awọn ohun elo ile-iṣẹ.
▶Apẹrẹ fun Iṣelọpọ, Idanwo, ati Apoti Ile mimọ— O dara fun lilo ni awọn agbegbe iṣakoso.
▶Ìdánwò Ìwà Títọ́ 100%— A máa ṣe ìdánwò ìdúróṣinṣin gbogbogbò fún ìdánwò dídára.
▶Ìdánwò Jíjò Hẹ́líọ́mù 100%— A ti fi idi rẹ̀ múlẹ̀ nípasẹ̀ ìdánwò jíjìn helium láti rí i dájú pé a gbẹ́kẹ̀lé rẹ̀ nínú àwọn ohun èlò pàtàkì.
Ìwé Ìwádìí
Àwọn Ìlànà Ìmọ̀-ẹ̀rọ
| Pílámẹ́rà | Ìlànà ìpele |
|---|---|
| Ohun èlò Àlẹ̀mọ́ | 316L lulú irin alagbara ti a fi sintetiki ṣe |
| Ohun èlò Ilé | Irin alagbara 316L |
| Iwọn titẹ Iwọle to pọ julọ | 207 bar |
| Iwọn Iyato Iṣiṣẹ Pupọ julọ | Páàtì 5.2 |
| Oṣuwọn Ìfìdíwọ̀n Jíjò Hẹ́líọ́mù | 2 x 10⁻¹⁰ cc/ìṣẹ́jú kan |
| Oṣuwọn Jijo Idanwo Helium | 1 x 10⁻¹⁰ cc/ìṣẹ́jú kan |
| Itọju dada | |
| Oju ita | Ra < 1.6 μm |
| Ojú Inú | Ra < 0.2 μm |
| Iwọn otutu iṣiṣẹ to pọ julọ | |
| Gaasi Inert | 400-500℃ |
| Gáàsì Tó Ń Díbàjẹ́ àti Tó Ń Ṣe Àtúnṣe | 50℃ |
| Lilo Ìdádúró Patikulu | ≥99.9999999% (9LRV) @ 30 slpm |
| Ìmọ́tótó ìsàlẹ̀ odò | ≤ 0.03 awọn patikulu/lita @ > 0.01 μm, 30 slm |
| Ìwọ̀n Ìdádúró Pátákì | ≥0.003 μm |
Iwọn
Eyi ni nọmba apakan ti o le paṣẹ ati awọn alaye iwọn:
| Àwòṣe Ọjà | Ohun èlò Àlẹ̀mọ́ | Ìpéye Àlẹ̀mọ́ (μm) | Irú Ìsopọ̀ |
|---|---|---|---|
| Z01B-00647 | Irin Alagbara 316L | 10~0.003 | 1/4” |
| Z01B-00648 | Irin Alagbara 316L | 10~0.003 | 1/2” |
| Z01B-00649 | Irin Alagbara 316L | 10~0.003 | 1/8” |
| Z01B-00650 | Irin Alagbara 316L | 10~0.003 | 1” |
| A le ṣe àtúnṣe | Irin Alagbara 316L | 10~0.003 | Bí Ó Ṣe Pèsè |
Awọn Ohun elo Aṣoju
diẹ ninu awọn ohun elo deede tiÀwọn Àlẹ̀mọ́ Onínúure Gíga àti Àwọn Ohun ÈlòàtiÀwọn Àlẹ̀mọ́ Ìṣàn Gáàsì ní Páàdì Gáàsì:
1.Iṣelọpọ Semiconductor
*Ó ń rí i dájú pé a lè pèsè gaasi tó mọ́ tónítóní fún iṣẹ́ ṣíṣe wafer, ìfọ́nrán, àti iṣẹ́ ìtọ́jú èéfín kẹ́míkà (CVD).
*Ó ń tọ́jú mímọ́ tó ga nínú àwọn ètò ìpínkiri gaasi fún nitrogen, argon, àti àwọn gaasi onígbèsè mìíràn.
2.Iṣẹjade oogun
*Ó ń pèsè gaasi tí kò ní ìdọ̀tí àti èyí tí kò ní èròjà nínú fún àwọn àyíká ìṣelọ́pọ́ pàtàkì.
*Ó ń ṣe àtìlẹ́yìn fún ìṣàlẹ̀ mímọ́ tó ga fún àwọn yàrá mímọ́ àti àyíká tí a ṣàkóso láti mú kí ọjà náà jẹ́ èyí tí ó tọ́.
3. Awọn Eto Gaasi Ile-iwosan
*A lo o ninu awọn eto yàrá lati sọ awọn ṣiṣan gaasi di mimọ ninu awọn ohun elo itupalẹ bii gaasi chromatography ati mass spectrometry.
*Ó ń rí i dájú pé àwọn gáàsì mímọ́ tó ga jùlọ wà fún ìwádìí àti ìdánwò, ó sì ń dáàbò bo àwọn ohun èlò tó ní ìpalára.
4.Ṣíṣe oúnjẹ àti ohun mímu
*Ajọ CO₂ àti àwọn gáàsì míràn tí a lò fún gbígbóná epo, ìdìpọ̀, àti ìtọ́jú oúnjẹ, èyí tí ó ń mú kí oúnjẹ wà ní ààbò àti dídára.
*Ó ń rí i dájú pé afẹ́fẹ́ kò ní ìbàjẹ́ nínú àwọn ilé iṣẹ́ ìṣiṣẹ́, pàápàá jùlọ fún àwọn ilé iṣẹ́ gáàsì púpọ̀.
5.Ile-iṣẹ Epo ati Gaasi
*Ó ń sọ àwọn ìṣàn gáàsì àdánidá di mímọ́ nínú àlẹ̀mọ́ gáàsì, ó sì ń mú àwọn ohun ìbàjẹ́ kúrò kí ó tó di ìpamọ́ tàbí kí ó tó gbé e lọ.
*Ó ń dáàbò bo àwọn ohun èlò ìsàlẹ̀ nípa yíyọ àwọn èròjà, ọrinrin, àti àwọn ohun ìdọ̀tí kúrò nínú àwọn ètò ìṣàn gaasi gíga.
6.Ṣíṣe Kẹ́míkà
* Ó ń ṣàn àwọn gáàsì ìlò bí nitrogen àti argon tí a lò nínú ìṣẹ̀dá àti ìṣesí kẹ́míkà.
*Ó ń tọ́jú mímọ́ gaasi láti dènà ìbàjẹ́ àti àìbáramu ìhùwàsí.
7.Afẹ́fẹ́ àti Ààbò
*Ó ń pèsè àwọn gáàsì mímọ́ tó ga jùlọ nínú iṣẹ́ ṣíṣe àti ìdánwò àwọn ohun èlò àti àwọn èròjà afẹ́fẹ́.
*Ó ń rí i dájú pé gáàsì mọ́ tónítóní ní àwọn àyíká tí a ń ṣàkóso fún àkójọpọ̀ ohun èlò ọkọ̀ òfúrufú àti ààbò.
8.Iṣẹjade Agbara (Awọn Ile-iṣẹ Agbara)
*Ó ń ṣàn àwọn gáàsì onítẹ̀sí gíga fún ìtútù àti ìlò iṣẹ́, pàápàá jùlọ ní àwọn ibi tí ó ní iwọ̀n otútù gíga.
*Ó mú kí iṣẹ́ rẹ̀ sunwọ̀n síi, ó sì dín ìbàjẹ́ ẹ̀rọ kù nípa dídínà ìbàjẹ́ nínú àwọn ẹ̀rọ ìtútù àti ìṣàn gaasi.
Àwọn wọ̀nyí fÀwọn ohun èlò ìdènà ṣe pàtàkì nínú gbogbo ohun èlò tó nílò ìṣàn gaasi tó mọ́ tónítóní, tó sì ń mú kí ààbò ẹ̀rọ pọ̀ sí i,
ṣiṣe ilana, ati didara ọja ikẹhin kọja awọn ile-iṣẹ.
Fi ifiranṣẹ rẹ ranṣẹ si wa:
