Àwọn Àlẹ̀mọ́ C-Seal ti IGS tí ó ti ní ìlọsíwájú fún Àwọn Ẹ̀rọ Gáàsì Semiconductor Ultra-Pure

Àpèjúwe Kúkúrú:

Orúkọ ìtajà:HENGKO

Orúkọ Àlẹ̀mọ́:Àlẹ̀mọ́ C-Seal Mount IGS dada

Ohun èlò:SS 316L

Oṣuwọn sisan:10 ~ 120 SLPM

Iwọn otutu iṣiṣẹ ti o pọ julọ:460° C

Ìwọ̀n yíyọ patiku:> 0.003 μm

Fi imeeli ranṣẹ si wa Pada si Awọn Ẹ̀ka-ẹ̀ka

Àlàyé Ọjà

Àwọn àmì ọjà

Àpèjúwe

A ṣe àgbékalẹ̀ àwọn àlẹ̀mọ́ HENGKO Surface Mount láti bá àwọn ohun tí ó ń béèrè fún mu ti àwọn ètò gaasi tí a fi sínú àwọn irinṣẹ́ OEM semiconductor. Ní fífún wọn ní àlẹ̀mọ́ tó gbajúmọ̀ ní 0.003 µm, àwọn àlẹ̀mọ́ wọ̀nyí ń rí i dájú pé iṣẹ́ wọn dára gan-an, wọ́n sì lè ṣe é dáadáa pẹ̀lú agbára ìdènà pàtákì ti ≥99.9999999% (9-LRV) ní 120 slm.

A ṣe àwọn àlẹ̀mọ́ yìí láti inú lulú irin alagbara 316L tí a fi síntì fún ohun èlò àlẹ̀mọ́ àti ibi ìpamọ́ rẹ̀, wọ́n sì bá àwọn ìlànà SEMI F86-0304 mu, wọ́n ní àwọn èròjà ibudo méjì tí a ṣe fún àwọn ètò ìpínkiri gaasi 1.125” pẹ̀lú ìṣètò C-seal. Wọ́n ń ṣe àtìlẹ́yìn fún titẹ inú tó pọ̀jù ti 3.4 MPa ní 100°C àti ìyàtọ̀ titẹ iṣẹ́ tó pọ̀jù ti 0.69 MPa ní 100°C.

Àwọn àlẹ̀mọ́ pàtàkì wọ̀nyí, tí ó bá àwọn ìlànà ìfàmìsí irú C àti W mu, máa ń mọ́ tónítóní pẹ̀lú ìtújáde àwọn èròjà

Pẹlu ipari dada ti Ra< 1.6 µm ní òde àti RaNí ìwọ̀n tí ó kéré sí 0.13 µm lórí inú ilé, a ṣe wọ́n láti kojú ooru gíga tó 460°C. A ṣe wọ́n fún ìṣọ̀kan tó rọrùn àti àwọn àtúnṣe àwòrán onípele, àwọn àlẹ̀mọ́ wọ̀nyí rọrùn láti fi sori ẹrọ àti ìtọ́jú, wọ́n sì ń ran lọ́wọ́ láti mú kí iṣẹ́ ètò náà sunwọ̀n síi nínú ìfijiṣẹ́ gaasi semiconductor àti àwọn ohun èlò ìṣàkóso.

Ẹya Ọja

▶ Gbogbo ohun èlò irin alagbara 316L ni a ṣe
▶ Apẹrẹ kekere, eto kekere, fifipamọ aaye
▶ Àwọn ànímọ́ ìyípadà àti ìyọkúrò gaasi tó dára jùlọ
▶ Oòrùn gbígbóná gíga, ìfúnpá gíga, àti ìpalára
▶ Ilé irin alagbara 316L tí a fi iná mànàmáná ṣe
▶ Fífi sori ẹrọ ati itọju ti o rọrun ati munadoko
▶ Ìdìdì ẹ̀rọ, tí a kò fi ìrísí rẹ̀ hun mọ́ àárín

Àwọn Àlẹ̀mọ́ Ìdánilójú IGS tí ó ní Iṣẹ́ gíga fún Àwọn Ẹ̀rọ Ìfijiṣẹ́ Gaasi Semiconductor

Ìwé Ìwádìí

Àwọn Ìlànà Ìmọ̀-ẹ̀rọ	Àwọn ìníyelórí
Ohun èlò Àlẹ̀mọ́	Lúúdà Síntírì Irin Alagbara 316L
Ohun èlò Ilé	Irin Alagbara 316L
Titẹ Iwọle to pọ julọ	3.4 MPa @ 100°C
Iyatọ Iṣiṣẹ to pọ julọ	0.69 MPa @ 100°C
Oṣuwọn Ìfìdíwọ̀n Jíjò Hẹ́líọ́mù	1x10⁻¹¹¹ cc/ìṣẹ́jú kan
Oṣuwọn jijo Idanwo Helium	1x10⁻⁹ cc/ìṣẹ́jú
Itọju dada	Ode oju Ra< 1.6 μm
	Ilẹ̀ inú Ra< 0.13 μm
Iwọn otutu iṣiṣẹ to pọ julọ	460°C
Ìgbésẹ̀ Ìdènà Pátíkì	≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (MPPS Itọkasi, gbogbo awọn patikulu)
Ìmọ́tótó ìsàlẹ̀ odò	Ìtújáde patiku:< 0.03 awọn patikulu/lita (< 1 patiku/ft³)
	Awọn oniyipada:ọrinrin <10 ppb
Iwọn Idapọ Patikulu	≥0.003 μm
Iwọ̀n Ìṣàn Omi	0 ~ 120 slpm