semikondokito gaasi Ajọ

Kini idi ti o nilo lati lo awọn asẹ gaasi ninu ilana iṣelọpọ semikondokito? 

Awọn asẹ gaasi jẹ pataki ninu ilana iṣelọpọ semikondokito fun ọpọlọpọ awọn idi pataki:

1. Yiyọ idoti

Ṣiṣẹda semikondokito pẹlu ọpọlọpọ awọn ilana ifura nibiti paapaa awọn idoti ti o kere julọ,

gẹgẹbi awọn patikulu eruku, ọrinrin, tabi awọn iṣẹku kemikali, le ni awọn ipa buburu. Gaasi Ajọ yọ kuro

awọn nkan ti o jẹ apakan, awọn aimọ, ati awọn contaminants ti afẹfẹ lati awọn gaasi ilana, ni idaniloju agbegbe mimọ

ati mimu awọn iyege ti awọn semikondokito wafers.

2. Mimu Ultra-Purity Standards

Ile-iṣẹ semikondokito nilo awọn ipele mimọ ti o ga julọ ninu awọn gaasi ti a lo, bi awọn idoti le

yorisi abawọn ninu awọn ẹrọ semikondokito. Awọn asẹ gaasi ṣe iranlọwọ lati ṣaṣeyọri didara gaasi mimọ-pupa, idilọwọ

idoti ati aridaju aitasera ati igbẹkẹle ti awọn ọja.

3. Ohun elo Idaabobo

Awọn idoti ninu awọn gaasi ko le ṣe ipalara fun awọn wafers semikondokito nikan ṣugbọn tun ba ifura naa jẹ

ohun elo ti a lo ninu ilana iṣelọpọ, gẹgẹ bi awọn ifasilẹ orule kemikali (CVD) ati

etching awọn ọna šiše. Gaasi Ajọ dabobo awọn wọnyi gbowolori ero lati bibajẹ, atehinwa ewu ti

downtime ati ki o leri tunše.

4. Idilọwọ Isonu Ikore

Ikore jẹ pataki ni iṣelọpọ semikondokito, nibiti awọn abawọn le fa ipadanu nla ni iṣelọpọ.

Paapaa patiku kan tabi aimọ kemikali le ja si ipadanu ikore, ni ipa lori iṣelọpọ ati ere.

Awọn asẹ gaasi rii daju pe awọn gaasi ilana jẹ mimọ, idinku idoti ati idinku pipadanu ikore.

5. Aridaju Didara Ọja

Iduroṣinṣin ati didara jẹ pataki julọ ni iṣelọpọ semikondokito. Awọn gaasi ti a ti doti le ṣẹda

awọn aiṣedeede, ti o yori si awọn ẹrọ semikondokito ti ko ni igbẹkẹle. Nipa lilo awọn asẹ gaasi, awọn aṣelọpọ le

ṣe iṣeduro pe ipele kọọkan pade awọn iṣedede didara okun ti o nilo, ti o yori si ẹrọ ti o ga julọ

išẹ ati longevity.

6. Idinku Downtime

Awọn contaminants ni awọn gaasi ilana le fa ikuna ẹrọ, pataki itọju tabi rirọpo.

Nipa lilo awọn asẹ gaasi, awọn aṣelọpọ le dinku akoko airotẹlẹ airotẹlẹ, ṣetọju ṣiṣe ṣiṣe, ati

fa igbesi aye awọn ohun elo to ṣe pataki.

7. Ibamu Kemikali

Ọpọlọpọ awọn gaasi ti a lo ninu awọn ilana semikondokito jẹ ifaseyin gaan tabi ibajẹ. Gaasi Ajọ ni o wa

ti a ṣe lati koju awọn agbegbe kemikali lile wọnyi lakoko ti o n ṣe sisẹ awọn idoti daradara, ni idaniloju

ailewu ati ki o munadoko processing.

Lapapọ, awọn asẹ gaasi jẹ pataki fun mimu mimọ, igbẹkẹle, ati ailewu ti semikondokito

ilana iṣelọpọ, ṣe iranlọwọ lati ṣaṣeyọri didara giga, awọn ọja semikondokito ti ko ni abawọn lakoko

tun aabo fun niyelori ẹrọ.

Awọn oriṣi ti awọn asẹ gaasi ninu ilana iṣelọpọ semikondokito

Ninu ilana iṣelọpọ semikondokito, awọn oriṣiriṣi awọn asẹ gaasi ni a lo lati koju ọpọlọpọ

awọn ipele ati awọn italaya ti o ni nkan ṣe pẹlu mimọ gaasi ati aabo ohun elo.

Awọn oriṣi awọn asẹ gaasi ti a lo nigbagbogbo pẹlu:

1. Particulate Ajọ

* Idi: Lati yọ awọn patikulu, eruku, ati awọn contaminants miiran ti o lagbara lati awọn gaasi ilana.

* Lilo: Nigbagbogbo fi sori ẹrọ ni awọn ipele oriṣiriṣi lati daabobo awọn wafers, awọn iyẹwu ilana, ati ohun elo lati idoti patiku.

* Awọn ohun elo: Ni igbagbogbo ṣe lati irin alagbara, PTFE, tabi awọn ohun elo miiran ti o rii daju pe agbara ati ibaramu kemikali.

2. Awọn Ajọ Molecular tabi Kemikali (Awọn Ajọ Getter)

* Idi: Lati yọ awọn contaminants molikula kan pato, gẹgẹbi ọrinrin, atẹgun, tabi awọn agbo ogun, ti o le wa ninu awọn gaasi ilana.

* Lilo: Ti a lo nigbati gaasi mimọ-giga nilo, gẹgẹbi lakoko awọn ilana ifisilẹ tabi awọn ilana etching.

* Awọn ohun elo: Nigbagbogbo ti a ṣe pẹlu lilo eedu ti a mu ṣiṣẹ, zeolite, tabi awọn ohun elo adsorbent miiran ti a ṣe ni pataki lati di awọn aimọ molikula.

3. Ga-Purity Gas Ajọ

* Idi: Lati ṣaṣeyọri awọn iṣedede gaasi giga-giga giga (UHP), eyiti o ṣe pataki fun awọn ilana semikondokito nibiti aimọ kekere le ni ipa lori didara ọja naa.

* Lilo: Awọn asẹ wọnyi ni a lo ni awọn ilana bii Kemikali Vapor Deposition (CVD) ati Plasma Etching, nibiti awọn idoti le fa awọn abawọn to ṣe pataki.

* Awọn ohun elo: Ti a ṣe lati irin alagbara irin pẹlu awọn membran pataki lati ṣetọju iduroṣinṣin labẹ titẹ giga ati awọn ipo to gaju.

4. Olopobobo Gas Ajọ

* Idi: Lati sọ awọn gaasi di mimọ ni aaye titẹsi tabi ṣaaju pinpin si awọn laini iṣelọpọ.

* Lilo: Ti o wa ni oke ni eto ifijiṣẹ gaasi lati ṣe àlẹmọ awọn gaasi ni olopobobo ṣaaju ki wọn to pese si awọn irinṣẹ kọọkan tabi awọn reactors.

* Awọn ohun elo: Awọn asẹ wọnyi nigbagbogbo ni agbara giga fun mimu awọn iwọn nla ti awọn gaasi mu.

5. Ojuami-ti-Lo (POU) Gaasi Ajọ

* Idi: Lati rii daju wipe awọn gaasi ti a fi jiṣẹ si kọọkan kan pato processing ọpa ni o wa free lati eyikeyi contaminants.

* Lilo: Fi sori ẹrọ ni kete ṣaaju ki awọn gaasi ti wa ni ifihan si awọn ẹrọ ilana, gẹgẹ bi awọn etching tabi awọn iyẹwu ifisilẹ.

* Awọn ohun elo: Ti a ṣe lati awọn ohun elo ti o ni ibamu pẹlu awọn gaasi ifaseyin ti a lo ninu awọn ilana semikondokito, bii irin sintered tabi PTFE.

6. Opopo Gaasi Ajọ

* Idi: Lati pese sisẹ laini fun awọn gaasi ti n lọ nipasẹ eto pinpin.

* Lilo: Fi sori ẹrọ laarin awọn laini gaasi ni awọn aaye pataki, pese isọdi ti nlọ lọwọ jakejado eto naa.

* Awọn ohun elo: Sintered alagbara, irin tabi nickel lati rii daju kemikali ibamu pẹlu awọn gaasi.

7. Dada Oke Gas Ajọ

* Idi: Lati wa ni taara taara si awọn paati nronu gaasi lati yọ awọn patikulu ati awọn contaminants molikula kuro.

* Lilo: Wọpọ ni awọn aaye wiwọ, awọn asẹ wọnyi n pese sisẹ aaye-ti lilo daradara ni awọn ohun elo to ṣe pataki.

* Awọn ohun elo: Irin alagbara ti o ga julọ fun agbara ati ibamu pẹlu awọn gaasi iṣelọpọ semikondokito.

8. Iha-Micron Ajọ

* Idi: Lati ṣe àlẹmọ awọn patikulu kekere lalailopinpin, nigbagbogbo bi kekere bi awọn iwọn micron, eyiti o tun le fa awọn abawọn pataki ninu awọn ilana semikondokito.

* Lilo: Ti a lo ninu awọn ilana ti o nilo ipele ti o ga julọ ti sisẹ lati ṣetọju ipese gaasi ultra-pure, gẹgẹbi fọtolithography.

* Awọn ohun elo: Giga-iwuwo sintered irin tabi seramiki ohun elo ti o le fe ni pakute ani awọn kere patikulu.

9. Mu ṣiṣẹ Erogba Ajọ

* Idi: Lati yọ awọn contaminants Organic ati awọn gaasi iyipada.

* LiloTi a lo ninu awọn ohun elo nibiti awọn idoti gaseous nilo lati yọkuro lati yago fun idoti wafer tabi awọn idamu.

* Awọn ohun elo: Awọn ohun elo erogba ti a mu ṣiṣẹ ti a ṣe apẹrẹ lati ṣe adsorb awọn ohun elo Organic.

10.Sintered Irin Gas Ajọ

* Idi: Lati yọ awọn patikulu ati awọn impurities ni imunadoko lakoko ti o funni ni agbara igbekale ati resistance si titẹ giga.

* LiloTi a lo jakejado awọn ipele pupọ ti ilana semikondokito nibiti sisẹ to lagbara jẹ pataki.

* Awọn ohun elo: Ojo melo ṣe ti sintered alagbara, irin tabi awọn miiran irin alloys lati koju simi agbegbe ati kemikali.

11.Hydrophobic Gas Ajọ

* Idi: Lati ṣe idiwọ ọrinrin tabi oru omi lati wọ inu ṣiṣan gaasi, eyiti o ṣe pataki ni awọn ilana kan ti o ni itara si paapaa awọn oye ọrinrin.

* LiloNigbagbogbo lo ninu awọn ilana bii gbigbẹ wafer tabi etching pilasima.

* Awọn ohun elo: Awọn membran hydrophobic, gẹgẹbi PTFE, lati rii daju pe awọn gaasi wa laisi ibajẹ ọrinrin.

Awọn oriṣi awọn asẹ gaasi wọnyi ni a yan ni pẹkipẹki ti o da lori awọn ohun-ini pato wọn, ibaramu ohun elo, ati ibamu fun awọn ipo alailẹgbẹ ti awọn ilana iṣelọpọ semikondokito. Ijọpọ ọtun ti awọn asẹ jẹ pataki fun mimu ipele ti o ga julọ ti mimọ gaasi, aridaju iduroṣinṣin ilana, ati idilọwọ awọn abawọn ninu awọn ẹrọ semikondokito.

Diẹ ninu awọn FAQ nipa awọn asẹ gaasi semikondokito

FAQ 1:

Kini awọn asẹ gaasi semikondokito ati kilode ti wọn ṣe pataki?

Awọn asẹ gaasi semikondokito jẹ awọn paati pataki ninu ilana iṣelọpọ semikondokito.

Wọn ti ṣe apẹrẹ lati yọ awọn aimọ ati awọn contaminants kuro ninu awọn gaasi ilana, gẹgẹbiatẹgun,

nitrogen, hydrogen, ati orisirisi awọn gaasi kemikali.

Awọn aimọ wọnyi le ni ipa ni pataki didara, ikore, ati igbẹkẹle ti awọn ẹrọ semikondokito.

Nipa sisẹ awọn ṣiṣan gaasi ni imunadoko, awọn asẹ gaasi semikondokito ṣe iranlọwọ lati:

1.Maintain ga ti nw:

Rii daju pe awọn gaasi ti a lo ninu ilana iṣelọpọ wa ni ofe lati awọn idoti ti o le ba iṣẹ ẹrọ jẹ.

2.Dena ẹrọ bibajẹ:

Dabobo ohun elo semikondokito ifarabalẹ lati patiku ati idoti kemikali, eyiti o le ja si idinku iye owo ati awọn atunṣe.

3.Imudara ikore ọja:

Dinku awọn abawọn ati awọn ikuna ti o ṣẹlẹ nipasẹ awọn idoti ti gaasi, ti o mu ki awọn ikore iṣelọpọ ti o ga julọ.

4.Enhance igbẹkẹle ẹrọ:

Dinku ibajẹ igba pipẹ ti awọn ẹrọ semikondokito nitori awọn ọran ti o jọmọ ibajẹ.

FAQ 2:

Kini awọn oriṣi wọpọ ti awọn asẹ gaasi semikondokito?

Orisirisi awọn asẹ gaasi ni a lo ni iṣelọpọ semikondokito, ọkọọkan ṣe apẹrẹ lati yọkuro

kan pato orisi ti contaminants.

Awọn oriṣi ti o wọpọ julọ pẹlu:

1.Paticulate Ajọ:

Awọn asẹ wọnyi yọ awọn patikulu to lagbara, gẹgẹbi eruku, awọn okun, ati awọn patikulu irin, lati awọn ṣiṣan gaasi.

Wọn jẹ deede ti awọn ohun elo bii irin ti a fi sisẹ, seramiki, tabi awọn asẹ awo awọ.

2.Chemical Ajọ:

Awọn asẹ wọnyi yọ awọn idoti kẹmika kuro, gẹgẹbi oru omi, awọn hydrocarbons, ati awọn gaasi ipata.

Nigbagbogbo wọn da lori adsorption tabi awọn ipilẹ gbigba, lilo awọn ohun elo bii erogba ti a mu ṣiṣẹ,

molikula sieves, tabi kemikali sorbents.

3.Apapọ Ajọ:

Awọn asẹ wọnyi darapọ awọn agbara ti particulate ati awọn asẹ kemikali lati yọ awọn iru mejeeji kuro

eleti. Nigbagbogbo a lo wọn ni awọn ohun elo to ṣe pataki nibiti mimọ giga jẹ pataki.

FAQ 3:

Bawo ni awọn asẹ gaasi semikondokito ṣe yan ati ṣe apẹrẹ?

Yiyan ati apẹrẹ ti awọn asẹ gaasi semikondokito kan awọn ifosiwewe pupọ, pẹlu:

* Awọn ibeere mimọ gaasi:

Ipele mimọ ti o fẹ fun ṣiṣan gaasi kan pato ṣe ipinnu iṣẹ ṣiṣe ati agbara àlẹmọ.

* Iwọn sisan ati titẹ:

Iwọn gaasi lati ṣe filtered ati titẹ iṣiṣẹ ni ipa lori iwọn àlẹmọ, ohun elo, ati iṣeto ni.

* Iru idoti ati ifọkansi:

Awọn oriṣi pato ti awọn contaminants ti o wa ninu ṣiṣan gaasi n ṣalaye yiyan ti media àlẹmọ ati iwọn pore rẹ.

* Iwọn otutu ati ọriniinitutu:

Awọn ipo iṣẹ le ni ipa lori iṣẹ àlẹmọ ati igbesi aye.

* Iye owo ati itọju:

Iye owo ibẹrẹ ti àlẹmọ ati awọn ibeere itọju ti nlọ lọwọ gbọdọ jẹ ero.

Nipa iṣaroye awọn nkan wọnyi ni pẹkipẹki, awọn onimọ-ẹrọ le yan ati ṣe apẹrẹ awọn asẹ gaasi ti o pade ni pato

awọn iwulo ti ilana iṣelọpọ semikondokito.

Igba melo ni o yẹ ki a rọpo awọn Ajọ gaasi ni iṣelọpọ Semiconductor?

Igbohunsafẹfẹ rirọpo ti awọn asẹ gaasi ni iṣelọpọ semikondokito da lori ọpọlọpọ awọn ifosiwewe, pẹlu iru

ilana, awọn ipele ti contaminants, ati awọn kan pato iru ti àlẹmọ ni lilo. Ni deede, awọn asẹ gaasi ti rọpo ni deede

iṣeto itọju lati ṣe idiwọ eyikeyi eewu ti ibajẹ,nigbagbogbo ni gbogbo oṣu 6 si 12, da lori awọn ipo lilo

ati awọn iṣeduro lati ọdọ olupese àlẹmọ.

Sibẹsibẹ, awọn iṣeto rirọpo le yatọ jakejado da lori agbegbe iṣẹ. Fun apẹẹrẹ:

* Awọn ilana Idoti to gaju:

Ajọ le nilo lati paarọ rẹ nigbagbogbo ti wọn ba farahan si awọn ipele giga ti

particulate tabi molikula idoti.

* Awọn ohun elo to ṣe pataki:

Ninu awọn ilana ti o beere fun mimọ ga julọ (fun apẹẹrẹ, fọtolithography), awọn asẹ nigbagbogbo rọpo

preemptively lati rii daju wipe gaasi didara ti wa ni ko gbogun.

Mimojuto titẹ iyatọ kọja àlẹmọ jẹ ọna ti o wọpọ fun ṣiṣe ipinnu nigbati àlẹmọ nilo lati rọpo.

Bi awọn contaminants ṣe n ṣajọpọ, titẹ titẹ silẹ kọja àlẹmọ n pọ si, ti o nfihan idinku ninu ṣiṣe.

O ṣe pataki lati rọpo awọn asẹ ṣaaju ki ṣiṣe wọn dinku, nitori irufin eyikeyi ninu mimọ gaasi le fa awọn abawọn pataki,

dinku ikore, ati paapaa ja si ibajẹ ohun elo.

Awọn ohun elo wo ni Awọn Ajọ Gas Ṣe Fun Awọn ohun elo Semikondokito?

Awọn asẹ gaasi ti a lo ninu awọn ohun elo semikondokito ni a ṣe lati awọn ohun elo ti o le ṣetọju awọn iṣedede mimọ ti o ga julọ

ati ki o koju awọn agbegbe lile ti a rii ni iṣelọpọ. Awọn ohun elo ti o wọpọ pẹlu:

Irin Alagbara (316L): Ohun elo ti a lo julọ julọ nitori idiwọ kemikali rẹ, agbara ẹrọ, ati

agbara lati ṣe pẹlu awọn iwọn pore to peye nipa lilo imọ-ẹrọ sintering. O dara fun sisẹ mejeeji ifaseyin

ati inert ategun.

PTFE (Polytetrafluoroethylene): PTFE jẹ ohun elo inert ti kemikali ti a lo fun sisẹ ni ifaseyin pupọ tabi ibajẹ

gaasi. O ni ibamu kemikali ti o dara julọ ati awọn ohun-ini hydrophobic, ti o jẹ ki o jẹ apẹrẹ fun ọrinrin-kókó

awọn ilana.

* Nickel ati Hastelloy:

Awọn ohun elo wọnyi ni a lo fun awọn ohun elo iwọn otutu tabi fun awọn ilana ti o kan awọn kemikali ibinu

ibi ti alagbara, irin le degrade.

* Seramiki:

Awọn asẹ seramiki ni a lo fun awọn ohun elo nibiti o nilo resistance otutu otutu, tabi fun iha-micron

ase ti patikulu.

Yiyan ohun elo da lori iru gaasi, niwaju awọn ẹya ifaseyin, iwọn otutu, ati

miiran ilana sile. Awọn ohun elo gbọdọ jẹ ti kii ṣe ifaseyin lati rii daju pe wọn ko ṣafihan eyikeyi awọn aimọ

tabi awọn patikulu sinu ilana, nitorina mimu awọn ipele mimọ gaasi nilo fun iṣelọpọ semikondokito.

Kini Ipa ti Awọn Ajọ Ojuami-ti-Lo (POU) ni Ṣiṣelọpọ Semikondokito?

Awọn asẹ-ti-Lilo (POU) jẹ pataki ni iṣelọpọ semikondokito, bi wọn ṣe rii daju pe awọn gaasi di mimọ lẹsẹkẹsẹ ṣaaju

titẹ awọn irinṣẹ ilana. Awọn asẹ wọnyi n pese aabo ikẹhin lodi si awọn idoti ti o le ti wọ inu ṣiṣan gaasi naa

lakoko ibi ipamọ, gbigbe, tabi pinpin, nitorina imudara iduroṣinṣin ilana ati didara ọja.

Awọn anfani bọtini ti Awọn Ajọ POU:

* Ti o wa nitosi ohun elo to ṣe pataki (fun apẹẹrẹ, etching tabi awọn iyẹwu ifisilẹ) lati yago fun idoti lati de ọdọ wafer.

* Yọọ kuro mejeeji ati awọn idoti molikula ti o le ṣe agbekalẹ nipasẹ eto mimu gaasi tabi ifihan ayika.

* Rii daju pe didara gaasi ti o ga julọ ti ṣee ṣe si ọpa ilana, ohun elo aabo ati imudara didara awọn ẹrọ iṣelọpọ.

* Din iyipada ilana, mu ikore pọ si, ati dinku awọn ipele abawọn.

* Ko ṣe pataki ni awọn agbegbe semikondokito ti ilọsiwaju nibiti paapaa awọn aimọ kekere le ni ipa ni pataki iṣelọpọ ati igbẹkẹle ọja.

Bawo ni Awọn Ajọ Gas Ṣe Idilọwọ Awọn Ohun elo Idasile ni Awọn ilana Semikondokito?

Awọn asẹ gaasi ṣe idiwọ idinku ohun elo ni awọn ilana semikondokito nipa aridaju pe awọn gaasi ilana jẹ ominira nigbagbogbo

awọn eleto ti o le fa ibajẹ si ẹrọ iṣelọpọ. Ṣiṣẹda semikondokito jẹ pẹlu lilo giga

ohun elo ifura, pẹlu awọn iyẹwu ifisilẹ, awọn ẹrọ etching pilasima, ati awọn eto fọtolithography.

Ti awọn eleti bii eruku, ọrinrin, tabi awọn aimọ ifaseyin wọ awọn ẹrọ wọnyi, wọn le fa ọpọlọpọ awọn iṣoro,

lati clogging falifu ati nozzles to ba wafer roboto tabi riakito inu ilohunsoke.

Nipa lilo awọn asẹ gaasi ti o ni agbara giga, awọn aṣelọpọ ṣe idiwọ ifihan ti awọn contaminants wọnyi, dinku iṣeeṣe ti

aibojumu itọju ati ẹrọ breakdowns. Eyi ṣe iranlọwọ ni mimu awọn iṣeto iṣelọpọ iduroṣinṣin, idinku

iye owo idaduro akoko, ati yago fun awọn inawo pataki ti o ni nkan ṣe pẹlu awọn atunṣe tabi awọn iyipada.

Ni afikun, awọn asẹ ti o ni itọju daradara ṣe iranlọwọ faagun igbesi aye awọn paati bọtini, gẹgẹbi awọn olutona ṣiṣan, awọn falifu, ati awọn reactors,

nitorina igbelaruge ṣiṣe gbogbogbo ati ere ti ilana iṣelọpọ.

Nitorinaa lẹhin ṣayẹwo diẹ ninu awọn alaye nipa awọn asẹ gaasi semikondokito, ti o ba tun ni awọn ibeere diẹ sii.

Ṣetan lati mu ilana iṣelọpọ semikondokito rẹ pọ si pẹlu awọn solusan sisẹ gaasi ti o ga julọ?

Kan si HENGKO loni fun itọsọna iwé ati awọn solusan adani lati pade awọn iwulo rẹ.

Lẹhin ti ṣayẹwo diẹ ninu awọn alaye alaye nipa àlẹmọ gaasi semikondokito, ti o ba ni awọn ibeere diẹ sii?

Ṣetan lati mu ilana iṣelọpọ semikondokito rẹ pọ si pẹlu awọn solusan sisẹ gaasi ti o ga julọ?

Kan si HENGKO loni fun itọsọna iwé ati awọn solusan adani lati pade awọn iwulo rẹ.

Imeeli wa nika@hengko.comfun alaye siwaju sii.

Ẹgbẹ wa wa nibi lati ṣe iranlọwọ fun ọ lati mu iṣẹ ṣiṣe iṣelọpọ rẹ pọ si ati didara ọja.