Kini Ajọ Gas Semikondokito?

Semikondokito iṣelọpọ agbara imọ-ẹrọ ode oni, gbigbekele awọn ilana deede bii etching, ifisilẹ, ati fọtolithography.

Awọn ilana wọnyi beere awọn gaasi mimọ-pupa, gẹgẹ bi nitrogen ati hydrogen, eyiti o gbọdọ jẹ ofe lati awọn eegun lati rii daju didara ọja.

Semikondokito gaasi Ajọmu ipa pataki kan nipa yiyọ awọn aimọ bi ọrinrin, hydrocarbons, ati awọn patikulu, ni idaniloju mimọ

nilo fun iṣelọpọ daradara ati igbẹkẹle.

Kini Ajọ Gas Semikondokito?

A semikondokito gaasi àlẹmọjẹ ohun elo isọ amọja ti a ṣe apẹrẹ lati yọ awọn idoti bii awọn patikulu, ọrinrin, ati awọn hydrocarbons lati

Awọn ategun ti a lo ninu iṣelọpọ semikondokito. Awọn asẹ wọnyi ṣe idaniloju mimọ-giga giga ti o nilo fun awọn ilana bii etching, ifisilẹ, ati lithography,

nibiti paapaa awọn idoti airi le ba didara ọja jẹ.

Awọn asẹ wọnyi jẹ igbagbogbo ṣe lati awọn ohun elo ilọsiwaju biisintered alagbara, irin, PTFE (polytetrafluoroethylene), atiamọ, eyiti

pese resistance kemikali to dara julọ, agbara, ati ibamu pẹlu awọn eto gaasi mimọ-giga. Nipa mimu awọn ṣiṣan gaasi ti ko ni idoti,

Awọn asẹ gaasi semikondokito ṣe ipa pataki ni iyọrisi pipe ati igbẹkẹle pataki fun iṣelọpọ microchip ode oni.

Kini idi ti Awọn Ajọ Gas Semiconductor Ṣe pataki?

Awọn ilana iṣelọpọ Semiconductor jẹ ifarabalẹ iyalẹnu si awọn eegun.

Paapa awọn impurities airi le fa awọn abawọn ninu wafers, ti o yori siawọn eso ti o dinku,

gbogun ẹrọ išẹ, ati ki o pọ gbóògì owo.

Awọn idoti ti o wọpọpẹlu:

* Awọn patikulu:

Eruku, awọn irun irin, tabi awọn idoti ti o lagbara miiran.

*Ọrinrin:

Le fa awọn aati kẹmika ti o dinku awọn wafers.

* Awọn eefun ti hydrogen:

Ṣe afihan awọn iṣẹku ti aifẹ tabi dabaru pẹlu awọn ilana kemikali.

Awọn gaasi aimọ ni awọn ilana to ṣe pataki bi etching tabi ifisilẹ le ja si awọn ipele ti ko ni ibamu, awọn iyika abawọn,

ati kọ awọn eerun.

Semikondokito gaasi Ajọ

jẹ pataki fun idaniloju mimọ gaasi, aabo didara wafer, ati mimu ṣiṣe ti awọn laini iṣelọpọ.

Orisi ti Semikondokito Gas Ajọ

1. patiku Ajọ

* Apẹrẹ lati yọ awọn patikulu to lagbara, gẹgẹbi eruku ati idoti, lati awọn ṣiṣan gaasi.

* Ẹya awọn iwọn pore ultra-fine (fun apẹẹrẹ, iha-micron) lati mu awọn idoti laisi ihamọ sisan gaasi.

* Ti a ṣe ni igbagbogbo lati awọn ohun elo bii irin alagbara irin ti a fi silẹ fun agbara ati resistance kemikali.

2. Molecular Contaminant Ajọ

* A ṣe ẹrọ ni pataki lati yọkuro awọn aimọ ipele molikula gẹgẹbi ọrinrin ati awọn hydrocarbons.

* Nigbagbogbo lo awọn ohun elo to ti ni ilọsiwaju bii PTFE tabi erogba ti a mu ṣiṣẹ lati dẹkun awọn eleti ni kemikali tabi ti ara.

* O ṣe pataki fun mimu mimu mimọ-giga giga julọ ni awọn ilana ifarabalẹ si ọrinrin tabi awọn iṣẹku Organic.

3. Ajọpọ Ajọ

* Pese isọdi-Layer pupọ lati koju awọn patikulu mejeeji ati awọn idoti molikula ni nigbakannaa.

* Apẹrẹ fun awọn ṣiṣan gaasi pẹlu oniruuru awọn profaili aimọ.

* Darapọ awọn imọ-ẹrọ gẹgẹbi awọn ohun elo ti a fi sisẹ fun sisẹ patiku ati awọn adsorbents kemikali

fun yiyọ eleti molikula.

Ifiwera ti Awọn apẹrẹ Ajọ ati Awọn Imọ-ẹrọ

*Sintered Irin Ajọ:

Ti o tọ ati imunadoko fun yiyọkuro patiku ni awọn eto titẹ-giga.

* Awọn Ajọ ti o da lori Membrane:

Pese sisẹ molikula to dara julọ ṣugbọn o le nilo awọn titẹ kekere.

* Awọn Ajọ arabara:

Darapọ sintered ati awọn imọ-ẹrọ awo ilu fun sisẹ okeerẹ ni awọn apẹrẹ iwapọ.

Yiyan àlẹmọ da lori gaasi kan pato, awọn ipo iṣẹ, ati awọn eewu ibajẹ ti

ilana semikondokito.

Awọn ẹya bọtini ti Awọn Ajọ Gas Semikondokito

1. Ṣiṣe Asẹ

* Apẹrẹ fun isọ ipele-micron lati yọ paapaa awọn patikulu ti o kere julọ ati awọn contaminants molikula kuro.

* Ṣe idaniloju awọn gaasi mimọ-giga to ṣe pataki fun awọn ilana semikondokito ifura.

2. Gbona giga ati Kemikali Resistance

* Ti a ṣe lati awọn ohun elo bii irin alagbara, irin ati PTFE lati koju awọn iwọn otutu to gaju

ati awọn gaasi ipata.

* Dara fun awọn ohun elo oniruuru ti o kan ifaseyin tabi awọn agbegbe iwọn otutu giga.

3. Agbara ati Long Service Life

* Ti ṣe ẹrọ fun lilo gigun pẹlu ibajẹ kekere, idinku igbohunsafẹfẹ ti rirọpo ati akoko idinku.

* Awọn ohun elo koju yiya ati aiṣiṣẹ, mimu iṣẹ ṣiṣe ni awọn akoko gigun.

4. Ibamu pẹlu Ultra-High Purity Gas Systems

* Ti a ṣe apẹrẹ lati ṣepọ lainidi sinu awọn opo gigun ti o ga-mimọ laisi ṣafihan awọn idoti.

* Pade awọn iṣedede ile-iṣẹ fun mimọ, aridaju iṣẹ ṣiṣe deede ni iṣelọpọ semikondokito.

Awọn ẹya wọnyi jẹ ki awọn asẹ gaasi semikondokito ṣe pataki fun ṣiṣe idaniloju ṣiṣe, igbẹkẹle, ati

didara ni awọn agbegbe iṣelọpọ to ti ni ilọsiwaju.

Awọn ohun elo ti Semikondokito Gas Ajọ

1. Awọn ilana Semikondokito

*Etching:

Awọn asẹ ṣe idaniloju awọn gaasi mimọ-pupa lati ṣe idiwọ awọn abawọn ninu awọn ilana ti a fi sinu awọn wafers.

* Ifipamọ:

Awọn gaasi mimọ-giga ni a nilo fun ṣiṣẹda awọn fiimu tinrin aṣọ ni kemikali ati ti ara

ifisun oru (CVD ati PVD) awọn ilana.

* Lithography:

Awọn asẹ gaasi ṣetọju deede ti awọn ilana fọtolithographic nipa yiyọ awọn aimọ

ti o le dabarupẹlu ifihan ina tabi awọn aati kemikali.

2. Gaasi Nlo ase

Nitrojiini (N₂):

Ti a lo fun sisọ ati bi gaasi ti ngbe, to nilo mimọ pipe lati yago fun idoti.

Argon (Ar):

Pataki fun awọn ilana pilasima ati ifisilẹ, nibiti awọn idoti le ṣe idiwọ iduroṣinṣin.

* Atẹgun (O₂):

Ti a lo ninu ifoyina ati awọn ilana mimọ, pataki ipese ti ko ni idoti.

* Hydrogen (H₂):

Lominu fun idinku awọn agbegbe ni ifisilẹ ati etching, pẹlu tole aimọ kekereiresi.

3. Industries Beyond Semikondokito

* Awọn oogun oogun:

Awọn gaasi mimọ-pupa fun iṣelọpọ ati iṣakojọpọ awọn ọja ifura.

* Ofurufu:

Awọn ilana iṣelọpọ deede da lori awọn agbegbe gaasi mimọ.

* Ounje ati Ohun mimu:

Awọn asẹ ṣe idaniloju awọn gaasi ti ko ni idoti fun apoti ati sisẹ.

Awọn asẹ gaasi semikondokito jẹ pataki fun ṣiṣe deedee, ṣiṣe, ati didara ni awọn mejeeji

semikondokito ẹrọati awọn ohun elo giga-mimọ miiran.

Bii o ṣe le Yan Ajọ Gas Semikondokito Ọtun

1. Okunfa lati Ro

* Gaasi Iru: Awọn gaasi oriṣiriṣi ni awọn eewu idoti ti o yatọ (fun apẹẹrẹ, ọrinrin fun nitrogen, hydrocarbons fun hydrogen). Yan àlẹmọ ti a ṣe deede si gaasi kan pato.

* Oṣuwọn ṣiṣan: Rii daju pe àlẹmọ le mu sisan gaasi ti o nilo laisi ipadanu ṣiṣe tabi ṣafihan awọn titẹ silẹ.

* Titẹ Iṣiṣẹ: Yan àlẹmọ ti a ṣe apẹrẹ fun iwọn titẹ ti eto rẹ, paapaa ni awọn agbegbe ti o ga.

* Ibamu: Daju awọn ohun elo àlẹmọ jẹ ibaramu kemikali pẹlu gaasi ati awọn paati eto miiran.

2. Pataki ti Iwọn Pore ati Aṣayan Ohun elo

* Iwon pore: Yan àlẹmọ kan pẹlu awọn iwọn pore ti o yẹ fun yiyọ awọn idoti ni iṣẹ ṣiṣe ti o fẹ (fun apẹẹrẹ, awọn ipele kekere-micron fun awọn ohun elo to ṣe pataki).

* Ohun elo: Jade fun awọn ohun elo ti o tọ bisintered alagbara, irinfun awọn patikulu tabi PTFE fun awọn contaminants molikula, aridaju resistance si ipata, ooru, ati titẹ.

3. Italolobo fun Itọju ati Rirọpo

* Ṣe ayẹwo awọn asẹ nigbagbogbo fun awọn idii, wọ, tabi iṣẹ ti o dinku.

* Tẹle awọn itọnisọna olupese fun mimọ tabi rirọpo awọn asẹ lati ṣe idiwọ ikojọpọ.

* Lo awọn irinṣẹ ibojuwo, ti o ba wa, lati tọpa ṣiṣe àlẹmọ ati ṣe idanimọ nigbati o nilo awọn iyipada.

Nipa iṣayẹwo awọn nkan wọnyi ni pẹkipẹki ati mimu awọn asẹ daradara, o le rii daju mimọ gaasi ti o dara julọ ati ṣiṣe eto ni awọn ohun elo semikondokito.

Awọn ilọsiwaju ni Imọ-ẹrọ Filter Gas Semikondokito

1. Awọn imotuntun ni Imọ-ẹrọ Ohun elo

* Nano-Patiku Filtration: Idagbasoke ti awọn ohun elo to ti ni ilọsiwaju ti o lagbara lati di awọn contaminants ni ipele molikula tabi atomiki.

Eyi ṣe idaniloju paapaa awọn ipele ti o ga julọ ti mimọ gaasi fun awọn ilana semikondokito ifamọ olekenka.

* Awọn ohun elo arabara: Apapọ awọn irin sintered pẹlu awọn polima to ti ni ilọsiwaju lati ṣẹda awọn asẹ ti o jẹ mejeeji ti o tọ ati

nyara munadoko ni yiyọ Oniruuru contaminants.

2. Smart Filtration Systems

* Awọn agbara Abojuto ti a ṣe sinu:

Ijọpọ awọn sensosi ti o tọpa iṣẹ àlẹmọ, titẹ silẹ, ati awọn ipele idoti ni akoko gidi.

* Itọju Asọtẹlẹ:

Awọn ọna ṣiṣe Smart sọ awọn oniṣẹ leti nigbati àlẹmọ nilo mimọ tabi rirọpo, idinku akoko idinku ati mimu awọn iṣeto itọju ṣiṣẹ.

3. Awọn apẹrẹ Alagbero ati Agbara-ṣiṣe

* Awọn ohun elo Ọrẹ-Eco:

Awọn asẹ ti a ṣe pẹlu atunlo tabi awọn paati ore ayika lati dinku egbin.

* Agbara Agbara:

Awọn apẹrẹ ti o dinku awọn idinku titẹ ati lilo agbara, imudarasi ṣiṣe eto laisi ibajẹ didara sisẹ.

Awọn ilọsiwaju wọnyi kii ṣe imudara iṣẹ ti awọn asẹ gaasi semikondokito ṣugbọn tun ṣe alabapin si ṣiṣe idiyele ati

iduroṣinṣin ayika, n koju awọn ibeere ti ndagba ti ile-iṣẹ semikondokito.

Ipari

Awọn asẹ gaasi semikondokito jẹ pataki fun aridaju awọn gaasi mimọ-pupa, aabo didara wafer, ati imudara ṣiṣe iṣelọpọ.

Ipa wọn ṣe pataki ni ilọsiwaju imọ-ẹrọ semikondokito ati ipade awọn iṣedede ile-iṣẹ to lagbara.

Fun awọn ojutu ti a ṣe deede, kan si awọn amoye lati yan awọn asẹ ti o dara julọ fun awọn iwulo rẹ ati rii daju iṣẹ ṣiṣe ti o pọju ninu awọn iṣẹ rẹ.